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Kurt J. Lesker Co.


  CVD 系列
   eg.  CMS-18
   -   功能:
        >  18" 高 x 20" 宽圆柱室
        >  可高达 5 源端口 (标准)
        >  可高达 5 TORUS® 磁控管溅靶具
        >  可用与 multipocket 电子束蒸发源
        >  可用与多个热蒸发源
        >  可容纳最大4"基板
   
  PVD 系列
   eg.  PVD 75
   -   功能:
        >  24“高x14“宽/深D型
        >  全封闭的“零“洁净室安装足迹
        >  可用多达 4 TORUS® 圆形磁控管溅靶具
        >  可用与 multipocket电子束蒸发源
        >  可用与多个热蒸发源
        >  可用高达6低温有机蒸发源
        >  可用与3厘米filamentless离子源系统
   
  定制系统
  
   

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