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单晶片处理 / 湿式站
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旋转涂布机
基板直径: | 10 to 125 mm | ![]() |
传播过程时间: | 0.01 to 99.99s (adjustable) | |
传播速度范围: | 500 to 3000RPM (adjustable) | |
旋转处理时间: | 0.01 to 99.99 (adjustable) | |
旋转速度范围: | 1500 to 8000RPM (adjustable) | |
最高转速: | 8000RPM | |
电源: | 220V, 0.5A, 50Hz | |
真空: | 24 in Hg | |
尺寸(长x宽x高): | 230 x 270 x 260 mm | |
重量 | 8kg |
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