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Vacuum Furnace System
单晶片处理 / 湿式站
晶圆清理 根据客户要求定制
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旋转涂布机
| 基板直径: | 10 to 125 mm | ![]() |
| 传播过程时间: | 0.01 to 99.99s (adjustable) | |
| 传播速度范围: | 500 to 3000RPM (adjustable) | |
| 旋转处理时间: | 0.01 to 99.99 (adjustable) | |
| 旋转速度范围: | 1500 to 8000RPM (adjustable) | |
| 最高转速: | 8000RPM | |
| 电源: | 220V, 0.5A, 50Hz | |
| 真空: | 24 in Hg | |
| 尺寸(长x宽x高): | 230 x 270 x 260 mm | |
| 重量 | 8kg |
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晶圆清理

